纯水指的是没有杂质的H2O。从学术角度讲，纯水又名高纯水，是指化学纯度高的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用普遍的还是电子工业。
       例如电力系统所用的纯水，要求各杂质含量低达到“微克/升”级。在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标应该根据电子元器件的生产工艺而定，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。随着电子级水标准的不断修订，而且高纯水分析领域的许多发展，新的仪器和新分析方法的不断应用都为制纯水工艺的发展制造了条件。
       纯水也是指经过纯水机过滤的水。
       纯水是指水中盐类除去或减少到相应的净水设备。1.0-10.0μS/cm，电阻率（25℃）0.1-1.0×106cm含盐量为1-5mg/L。